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中科院微電子臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機

更新(xin)時間:2023-11-12

簡要描述:

我研究室生產的KW型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。

產品主要特點

1、開關電流調速,穩定性能更好,轉速調節以數字顯示為準。

2、轉速在(zai)500~8000轉/分范圍內非常穩定。

品牌其他品牌產地類別國產
應用領域電子

中國科學院微電(dian)子研究所(suo) KW-4A型(xing)臺式勻(yun)膠機/旋(xuan)涂儀/涂膠機

產品簡介 

我研究室生產的KW-4A型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。 

產品主(zhu)要(yao)特點(dian) 

1、開關電(dian)流調速,穩定性(xing)能更好,轉速調節以(yi)數字顯示為準(zhun)。 

2、轉速在500~8000轉/分范圍內非常(chang)穩(wen)定。   

3、采用雙轉速(su)(su)。在啟動之后,先以(yi)低速(su)(su)運(yun)轉,使膠攤開,然后自動轉換到高速(su)(su)運(yun)轉。兩(liang)種轉速(su)(su)及相應的時間分別(bie)(bie)可調(diao),時間分別(bie)(bie)控制在1~18秒(miao)和3秒(miao)~1分鐘。 

4、具(ju)有定時功能(neng)。  

5、測速(su)采用光電的辦法,產生光電脈沖(chong),由晶體分頻測速(su)準(zhun)確性高。  

6、"吸片"采用電磁閥控(kong)制氣(qi)路,一個氣(qi)泵可(ke)同時(shi)帶(dai)幾臺勻膠機工作,適合(he)流水線的工藝(yi),提高(gao)了效率。   

7、在安(an)裝(zhuang)結構上,采取(qu)了減(jian)振措施,保證了在運轉(zhuan)時噪(zao)音低。 

性能指標:

參數

指標

調速范圍和勻膠時間

Ⅰ檔(dang)調速(su)范圍(wei):500-2000轉/分Ⅰ檔(dang)勻(yun)膠時間:2-18秒

Ⅱ檔調(diao)速范圍:1300-8000轉/分Ⅱ檔勻膠時(shi)間:3-60秒

適用

Φ5-Φ100mm硅(gui)片及其(qi)它材料等勻膠(jiao)

電機功率

40W

LED數字顯示

轉速穩定度(du):±1%,膠的均勻性:±3%

真空泵抽氣速率

≥60升/分

儀器尺寸

210×220×160mm

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